DOI:
Автор:
Білокінь С.О., Черкаський державний технологічний університет, м. Черкаси, Україна
Бондаренко М.О., Черкаський державний технологічний університет, м. Черкаси, Україна
Бондаренко Ю.Ю., Черкаський державний технологічний університет, м. Черкаси, Україна
Антонюк В.С., Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут", м. Київ, Україна
Мова статті: українська
Анотація:
Розглянуто актуальне завдання розроблення методичного забезпечення для визначення механічних характеристик діелектричних матеріалів у нанометровому діапазоні. Для комплексного дослідження пружних сил, капілярних сил та визначення залишкового трибозаряду пропонується використання діагностичного стенда, який створено на базі атомно-силового мікроскопа. Розроблена та описана в роботі блок-схема стенда та схема автоматизації технологічного процесу дозволяє усунути негативні зовнішні впливи на процес діагностування з боку оператора. За результатами дослідження матеріалів, які знайшли широке використання у галузі точного приладобудування (на прикладі кремнію Кр0, оптичного скла К8 та п’єзоелектричної кераміки ЦТС-19) встановлено похибку визначення їх механічних характеристик, яка не перевищує 7,5 %.
Ключові слова:
діагностичний стенд, атомно-силова мікроскопія, діелектрик, пружна сила, капілярна сила, трибозаряд
Використана література:
1. Binning G. Atomic force microscope / G. Binning, C.F. Quate, Ch. Gerber // Phys. Rev. Lett. – 1986. – Vol. 56. – P. 930–933.
2. Миронов В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В. Л. Миронов. – Нижний Новгород : Российская академия наук, Институт физики микроструктур, 2004. – 110 с.
3. Мікроскопія в нанотехнологіях : монографія / В. С. Антонюк [та ін.]. – К. : НТУУ «КПІ», 2014. – 260 с.
4. Formation of wear-resistant coatings on silicon probes for atomic force microscopy by thermal vacuum evaporation / V. Antonyuk, S. Bilokin’, M. Bondarenko, Yu. Bondarenko [etc.] // Journal of Superhard Materials. – 2015. – Vol. 37, Is. 2. – Р. 112–119.
5. Білокінь С. О. Комплексне дослідження нанометричних елементів за допомогою атомно-силової мікроскопії / С.О. Білокінь, М.О. Бондаренко // Шевченківська весна : ХІІ конф. (25–28 березня 2014 р.) : у 2 ч. Ч. 2. – К., 2014.
6. Билоконь С. А. Влияние сил адгезии между исследуемой поверхностью и зондом для атомно-силовой микроскопии / С. А. Билоконь, М. А. Бондаренко, В. С. Антонюк // Наноинженерия. – 2012. – № 6 (12). – С. 41–45.
7. Особенности измерения микротвердости диэлектрических поверхностей кремниевым зондом атомно-силового микроскопа / В. С. Антонюк, С. А. Билоконь [и др.] // Наноинженерия. – 2014. – № 3 (33). – С. 13–16.
8. Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопа діелектричних поверхонь / М. О. Бондаренко, С. О. Білокінь, В. С. Антонюк, Ю. Ю. Бондаренко // Журнал нано- та електронної фізики. – 2014. – Том 6, № 2. – С. 02018-1–02018-5.